Лаборатория «Сегнетоэлектрические материалы и устройства»

Laboratory «Ferroelectric materials and devices»

(лаборатория создана на основании приказа от «08»ноября2022 г. №97 о.д._

в рамках национального проекта «Наука и университеты)

Основные направления работ:

- экспериментальные исследования по формированию структурно-совершенных сегнетоэлектрических пленок различных составов методами вакуумного осаждения на полупроводниковые и диэлектрические подложки;

- разработка технологии изготовления планарных высокоэффективных электронно-перестраиваемых конденсаторных структур на основе сегнетоэлектрических материалов;

- разработка методик создания конденсаторных структур большой емкости на основе high-k диэлектриков.

Лаборатория активно сотрудничает с ведущими российскими ВУЗамии организациями промышленности в области радиоэлектроники: РТУ МИРЭА, МИСиС, ИНМЭ РАН, АО «НПП Пульсар», АО «НПП Салют».

Научная проблема

Разработка планарных электронно-управляемых конденсаторов большой емкости и с высоким пробивным напряжением, позволяющие уменьшить габариты интегральных устройств, в том числе СВЧ диапазона. При этом отпадает необходимость применения внешних навесных компонентов и повышается надежность конечного изделия.

Научная новизна решаемых задач заключается в разработке и изготовлении планарных электронно-перестраиваемых конденсаторных структур большой емкости на основе сегнетоэлектрических пленок различных составов, в частности состава Ba_xSr_1-xTiO₃.

Руководитель лаборатории:

Афанасьев Михаил Сергеевич – ведущий научный сотрудник, д.т.н. доцент

тел.: 8(496)565–24–91, 8(496)565–25–20

e-mail: [email protected]

Сотрудники: